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數字式四探針測試儀技　術　指　標：

測量范圍電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴展)；

方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴展)；

電導率：0.005～1000s/cm；

電阻：0.001～200Ω.cm；

可測晶片直徑140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；

200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調

數字電壓表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

輸入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1%；

顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；

探針壓力：5～16牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差

(按JJG508-87進行)0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機測量相對誤差(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度≤5%

計算機通訊接口并口

標準使用環境溫度：23±2℃；

相對濕度：≤65%；

無高頻干擾；

無強光直射；

 數字式四探針測試儀 半導體材料電阻率測試儀 半導體材料電阻檢測儀

型號DL10-4

DL10-4型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法******標準并參考美***A.S.T.M標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。

儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

儀器采用了*新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

DL10-4型四探針軟件測試系統是***個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析