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產(chǎn)品簡介

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測試：

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。 

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，CINDBEST針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

CGO探針臺能夠勝任的測試有：

CINDBEST CGO系列極高/低溫真空環(huán)境探針臺，開/閉循環(huán)制冷，標(biāo)配控溫范圍：4.2K-480K，另可以根據(jù)客戶需求訂制。




應(yīng)用領(lǐng)域

l 探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上，是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。

l 使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。

l 使用電源：220±10%，50~60Hz

 參數(shù)規(guī)格

配件

1、體式顯微鏡  （可選配高倍率晶相顯微鏡）

產(chǎn)品參數(shù)和特點


1．  鑒別力高，視場范圍大，景深長。
2．  工作距離長至115mm。
3．  左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
4．  能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
5．  本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
6．  雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm.

產(chǎn)品優(yōu)點：

產(chǎn)品造型比較新穎
機(jī)械特性優(yōu)越，操作舒適度高。
光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對以上，符合標(biāo)準(zhǔn)
超長的工作距離位于***內(nèi)同行之***
獨(dú)有的3A設(shè)計
創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計，產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設(shè)計能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規(guī)的維護(hù),從而降低了總的費(fèi)用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境
此獨(dú)有的設(shè)計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電－－－－－－防靜電設(shè)計可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo)本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本
應(yīng)用領(lǐng)域：
教學(xué)示范，生物工程,IT產(chǎn)業(yè)檢測，材料分析等領(lǐng)域。

2、JVC模擬CCD

Figure 9: LN2-PP1 Dewar Lid ａnd Pressure Relief Valve Detail  

                                       

特點

l 1/3寸CCD,44萬像素

l 535電視線的水平分辨率

l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC開啟）

l 50dB的高信噪比（AGC OFF）

l 內(nèi)置10bit 數(shù)字圖像處理器

Winfast XP100視頻采集卡  

特性

l 可選擇的影像來源信號

可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像

輸出設(shè)備，如錄放影機(jī)、***庭攝影機(jī)、雷射光碟機(jī)、

影音光碟機(jī)及CCD攝影機(jī)，提供全方位的解決方案。                        

● 可編輯剪接影像片段

可以從輸入的影像來源做即時的動態(tài)捕捉或靜態(tài)補(bǔ)捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或***般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關(guān)應(yīng)用軟體，便可加入各種***與剪接編輯。

3、探針夾具

●  管狀式

測量微弱電流用，同時可接高壓，采用進(jìn)口triax線纜，前端管裝屏蔽結(jié)構(gòu)，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）

●  彈簧式 

使用便利，可用于較短時間的大電流（超過1安培）穩(wěn)定性好，采用進(jìn)口同軸線纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭

 

4、美***GGB探針

5、防震桌

特點：隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執(zhí)行元件采用德***FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。

應(yīng)用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。

技術(shù)參數(shù)：

臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼

平臺表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重復(fù)定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

具體尺寸可根據(jù)客戶需求定制

 6、探針臂：cindbestCB-80系列

特點

l 真空波紋管結(jié)構(gòu)

l X-Y-Z 方向的移動行程分別為50mm

l 線性移動

l 精度5微米

l Triaxial (Female)高真空電信接口法蘭

可升***到更高的移動精度

7、空氣壓縮機(jī)

規(guī)格：

l 電壓：AC220V

l 功率：550W

l 流量：40L/min

l 轉(zhuǎn)速：1380r/min

l 儲氣罐：8L

l 凈重：14.5kg

功能

l 為防震平臺提供壓縮空氣

特點

● 無油靜音，特別適合實驗室和潔凈室使用。

● 7升/分鐘，可24小時無間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。

8、高低溫控制系統(tǒng)

l 兩路PID溫度控制

l 50W樣品臺直流加熱

l 50W防輻射屏直流加熱

l 溫控范圍：77K-500K(液氮)，4K-500K(液氦)

l PID溫度控制器分辨率:0.1℃

l 傳感器溫度誤差：任何***區(qū)段 0.5%

l 包含三只硅二極管溫度傳感器：樣品臺，輻射屏，探針臂

9、愛德華分子泵組

l 抽氣速率(N2)：42l/s (采用NW40波紋管)

l 極限壓力 5*10^-8 mbar

l 壓縮比(N2):>1*10^11

10、40L液氮杜瓦罐

l 自增壓

l 全不銹鋼制造，容器強(qiáng)度高

l 可以調(diào)節(jié)壓力和針閥精密流量控制

l 使用安全可靠、排液方便快速、靜態(tài)液氮日蒸發(fā)率低

l 獨(dú)特的罐體支架，罐體穩(wěn)定性好

l 高強(qiáng)度大腳輪，移動更方便

l 雙安全閥結(jié)構(gòu)，確保產(chǎn)品使用安全

探針臺的使用方法

1、 打開真空腔蓋，將樣品固定到樣品臺中心位置，然后蓋上真空腔蓋。

2、 檢查真空腔體上所有真空閥門并確保都是處于關(guān)閉良好狀態(tài)，啟動真空泵。

3、 待真空度達(dá)到要求后，打開溫度控制器，觀察溫度顯示是否正常，如果正常進(jìn)行下***步。

4、 打開液氮罐輸液閥門，控制流量，讓液氮緩慢流入樣品臺制冷腔，待溫度降至基準(zhǔn)溫度后，調(diào)節(jié)溫度控制器，設(shè)置目標(biāo)溫度，待穩(wěn)定后進(jìn)行下***步。

5、 將顯微鏡移到觀察窗上方，調(diào)到倍率，調(diào)節(jié)焦距找到待測樣品；逐步增大放大倍率，知道能清楚的觀察待測樣品的待測電極。

6、 待測點位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。

7、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試


注意事項

 當(dāng)您使用本儀器時，可能會碰到***些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。

維護(hù)和保養(yǎng)

.1 避免碰撞

l 在安裝，操作探針臺時應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。

6.2 儀器的運(yùn)輸

l 儀器運(yùn)輸時，請先拔掉電源線插頭。

l 儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運(yùn)動部件。

6.3 儀器的存放

l 使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。

l 探針臺機(jī)體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險。

l 探針臺光學(xué)部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用安全。

l 停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命.

l 操作人員必須嚴(yán)格按要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。