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類(lèi)型

規(guī)格

Chuck（卡盤(pán)）

尺寸：4英寸，圓形

材質(zhì)：不繡鋼（可升級(jí)鍍金）

旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動(dòng)行程：2" x3"，移動(dòng)精度：10um（可升級(jí)為1um精度）

吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4"

整體規(guī)格

T型平臺(tái)，輕巧方便。

平整度：5um，平臺(tái)特殊處理，使得探針座吸附更牢固

外尺寸：500mm長(zhǎng) x 480mm寬 x 480mm高(帶顯微鏡)

重量：30KG（帶顯微鏡）

特點(diǎn)

類(lèi)型

規(guī)格

*客戶(hù)定制

*升級(jí)龍門(mén)結(jié)構(gòu)，精度更高，操作更方便

*采用motic金相顯微鏡

*適合安裝探針卡

*可加裝加熱臺(tái)

*可升級(jí)做射頻測(cè)試

chuck（卡盤(pán)）

尺寸：4英寸（6英寸，8英寸，12英寸可選）

材質(zhì)：不銹鋼（可鍍金）

旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°

X-Y移動(dòng)行程：4" x4"，移動(dòng)精度：10um（移動(dòng)行程可升級(jí)為6‘’x6‘’）

吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm

升降調(diào)節(jié)：8MM

顯微鏡系統(tǒng)

高解析度長(zhǎng)工作距離顯微鏡

顯微鏡 X-Y 平面移動(dòng)范圍4 英寸 x 4 英寸，移動(dòng)精度≤1 微米（升級(jí)龍門(mén)式結(jié)構(gòu)）

顯微鏡 Z 軸移動(dòng)行程：50mm

加裝500萬(wàn)像素高清CCD（配置軟件，可對(duì)一般的幾何圖形進(jìn)行測(cè)量和分析）

整體規(guī)格

尺寸：580*580*620mm（帶顯微鏡）

重量：70KG

表面涂裝：白色（黑色可選）

可選配件：

加熱臺(tái)、防震桌、屏蔽箱、高壓夾具、高壓探針、射頻探針等