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產 地：更新時間：2021-03-09 15:19
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多孔氮化硅薄膜窗口特點
● 相對大的實驗區域；
● 增加了薄膜的彈性；
● 孔的尺寸適合實驗要求；
● 薄膜邊緣有25μm寬度是無孔的；
多孔氮化硅薄膜窗參數：
框架大小：Φ3mm； 框架厚度：200μm；
薄膜厚度：50/100nm； 窗口大小：0.5x0.5mm；
孔徑：2.5μm； 孔間距：4.5μm；
孔排列：100x100；
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