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產 地：更新時間：2021-04-30 11:47
品 牌：其他型 號：ET150
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日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀特點：
二次元表面解析，可測量段差
高精度、高分辨率和良好的再現性
FPD面板顯示，可測定微細表面形狀、段差、粗度等
低測定力，可測定軟質材料主要應用：前制程機臺（如曝光機、濺鍍機、蝕刻機）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應力測試及軟質光阻材料等薄膜臺階測量。
日本進口Kosaka臺階儀ET150粗糙度輪廓儀技術參數：
型號
ET150
樣品尺寸
φ160x48mm
樣品臺
尺寸
φ160
傾斜度
±2°（X,Y手動）
承重
2Kg
檢出器
觸針力
10μN-500μN（1mg-50mg）
范圍
600μm（0.1nm分辨率）
驅動
直動式（差動變壓器）
觸針
R2μm 頂角60°
X軸
測長
100mm
直線度
0.02μm/100mm
速度
0.005-20mm/s
重復性
±5μm（定位）
Y軸
25mm/手動
Z軸
50mm
放大倍數
垂直
50-2000000
水平
1-10000
監控系統
攝像裝置
1/3 inch CCD
監視裝置
視頻捕捉板
移動方法
手動
輔助功能
教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等
應用
成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度
1σ1nm
電源
AC90-240V 50/60Hz 300VA
外觀尺寸
W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺）
數顯恒溫板(顯微鏡載物臺)
赫爾納-供應德國EXPERT轉臺
機動架車 充氣探傷機架車 探傷機管頭機動架車
空調檢測專用自動升降臺 自動升降臺 空調檢測單桅柱式升降平臺
烙鐵性能測試儀
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