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生產型原子層沉積機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:PICOSUN P-200S Pro ALD

狀  態:正常點擊量:2169

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上海非利加實業有限公司

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電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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PICOSUN P-200S Pro ALD 生產型原子層沉積機 

技術參數


襯底尺寸和類型:

  。50 – 200 mm /單片
  。156 mm x 156 mm 太陽能硅片
  。150 mm x 150 mm 顯示面板

 

工藝溫度: 50 - 500 °C , 可選更高溫度


基片傳送選件 :

  。氣動升降(手動裝載)
  。半自動裝載,用PICOPLATFORM™200集群系統實現
  。25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cas
sette),用PICOPLATFORM™200集群系統實現
 

標準: SEMI S2 認證(認證中)
 

前驅體:

  。 液態, 固態, 氣態, 臭氧源, 等離子體(*多4路氣體):
  。前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務
  。6根獨立源管線,*多加載12個前驅體源(加上Plasma管路,共7根獨立源管線)

重量
 :790 kg

尺寸
 :(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

可選件
 :集群工具, PICOFLOW™ 擴散增強器, 集成橢偏儀, QCM, RGA, N2發生器,尾氣處理器,定制設計,與工廠軟件連接服務。


驗收標準
 :。標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝,
        。其他工藝可具體協商:其他工藝、應用具體驗收標準如:
         - 不均勻性
         - 顆粒物含量
         - 重金屬污染
         - 電學性能

***個PICOPLATFORM™ 200真空集群系統由兩臺PICOSUN™ P-200S ALD設備組成,帶等離子體源PICOPLASMA™。

 

產品參數


產品介紹



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