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PICOSUN 生產型原子層沉積機

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:P-1000 Pro ALD

狀  態:正常點擊量:1997

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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 PICOSUN P-1000 Pro ALD 生產型原子層沉積機

     

技術參數:
 

襯底尺寸和類型

 。156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對背)
 。高達400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對背)
 。大批量的3D產品(例如:鐘表部件,珠寶,硬幣,醫療植入部件,機械部件等)
 。多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品

工藝溫度: 50 - 500 °C
 

基片傳送選件:

 。氣動升降(手動裝載,帶叉車forklift cart)
 。全自動轉載,用工業機器人實現
 

前驅體: 

 。液態、固態、氣態、臭氧源
 。前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務
 。8根獨立源管線,*多加載12個前驅體源

重量: 2000 kg
尺寸:(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm
選件: PICOFLOW™ 擴散增強器,N2發生器,尾氣處理器,定制設計,與工廠軟件連接服務。
驗收標準: 標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝 
 




其他可選裝置

其它可選裝置:

PICOFLOW™ 擴散增強器
PICOFLOW™擴散增強器用于提升深溝槽、高深寬比樣品的薄膜質量。同樣適用于多孔、通孔、柔性樣品,粉末及其他復雜納米結構的樣品。該裝置兼容所有Picosun™ ALD設備。

POCA™ and PICOVIBE™ 顆粒沉積系統
PIcosun提供工業及研究型粉末沉積解決方案。POCA™ 300粉末沉積腔可以加工大批量粉末材料,并可以直接集成到PICOSUN™ P-300生產線反應腔內。對于小批量的粉末材料,可以采用POCA™ 200粉末沉積腔集成到PICOSUN™ R系列的設備上。此部件體積小,可以為高質量的粉末材料研究提供多樣化、成本低的解決方案。
Picosun PICOVIBE™裝置可以使前驅源氣體在粉末中的均勻分布,進***步提升粉末中每***個顆粒的薄膜均***性。

可連續沉積的Roll-to-roll 腔室
在印刷電子、OLED包裝、薄膜電池、智能紡織材料、有機傳感器、可循環或可生物降解包裝材料、柔性顯示器等研究領域,均要求連續的ALD鍍膜 工藝。Picosun卷對卷ALD腔室可容300mm寬的襯底。并可直接集成到PICOSUN™P-300生產型反應腔室上。我們還提供用于研究的小型卷對卷腔室,可容
70mm寬的襯底。 


產品參數


產品介紹



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