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美國Trion批量生產用設備去膠系統

價  格：詢價

產  地：更新時間：2021-01-19 15:36

品  牌：型  號：Gemini 和Apollo

狀  態(tài)：正常點擊量：2189

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Trion 去膠系統Gemini 和Apollo
 
詳細介紹

美***Trion Technology
反應式離子刻蝕系統及沉積系統

Trion始于***九八九年的等離子刻蝕與沉積系統制造商，Trion為化合物半導體、MEMS(微機電系統)、光電器件以及其他半導體市場提供多種設備。我們的產品在業(yè)內以系統占地面積*小、成本低而著稱，且設備及工藝的可靠性和穩(wěn)定性久經考驗。從整套的批量生產用設備，到簡單的實驗室研發(fā)用系統，盡在Trion。 

批量生產用設備去膠系統Geminiollo :

 

- 低損傷去膠系統

新式去膠系統的成本已攀升到不合理水平，但Trion已通過兩套價格低廉、緊湊的多功能系統使這***關鍵問題得到解決：Gemini和Apollo。利用ICP(電感耦合等離子)、微波和射頻偏置功率，可以在低溫條件下將難于消除的光刻膠去除。根據應用要求，每套系統可以結合SST-Lightning 微波源(既可靠又沒有任何常見的微波調諧問題) 或ICP 技術。

• 刻蝕速率高達6微米/分 
• 高產量
• 等離子損傷低 
• 自動匹配單元
• 適用于100mm 到300mm 基片 
• 設備占地面積小
• 價格具競爭性

產品參數


產品介紹



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