自動掃描薄膜測量儀器SenSol

 

SenSol是SENTECH光伏產品組合中的自動大面積掃描儀器。自動表征膜厚、薄層電阻、霧度、反射和透射的均勻性。使用SenSol，可以監測大型玻璃基板上的沉積過程的均勻性，從而可以顯著減少儀器維護后重新開始生產的時間。

 

整體表面分析

SenSol自動掃描系統是為薄膜測量設計的，在面板上的每個位置，特別是在邊緣都可以進行測量。

 

TCO自動掃描

TCO可以研究厚度的均勻性、薄層電阻、光譜分辨的霧度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。

 
 

工藝優化

新的沉積工藝或清洗后的沉積設備的運行時間顯著減少。

 

SenSol自動掃描儀器設計用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的質量控制的在線測量。大量的傳感器可以集成到SenSol傳感器平臺中。這也允許特定的工藝監測，提供補償工藝中出現的差異。

 

瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜測量設備的供應商，也是SENTECH的主要參考客戶，通過SenSol的工藝監測確保了優異的生產效果。

 

SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自動掃描軟件為制造商主計算機提供了靈活和定制的接口，以及客戶特定的薄膜測量結果的圖形表示。