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TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統

基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒，LYRA3 FIB-SEM是***款SEM與FIB良好結合的***體化系統，能夠滿足高要求客戶的需要。

新***代場發射掃描電子顯微鏡（LYRA3）給用戶帶來了新的技術優點，包括改進的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態和動態圖像扭曲補償技術的超快掃描系統，內置的編程軟件等，都使LYRA3保持著很高的性價比。

LYRA3系列的設計適用于各種各樣的SEM應用及當今研究和工業的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應用。借助于高性能軟件，TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應用的強大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

現代電子光路

• 獨特的大視野光路設計提供各種工作與顯示模式

• 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉換器”

• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優化電子束

• 全自動鏡筒設置與對中

• 成像速度很快

• 3維電子束技術提供實時立體圖像

• 可選的電子束遮沒裝置提供了電子束光刻技術

高性能離子光路

• 高性能CANION FIB設備提供既快又精確的切片與TEM樣品制備技術

• 可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設備在成像與銑削過程中依然保持很高的分辨率

聚焦離子束裝置

• 裝有兩套差異泵的獨特離子束裝置使離子散射效應較更低

• 馬達驅動高重復性光闌轉換器

• 電子束遮沒裝置與法拉第筒作為標配

• 同時可以進行離子刻蝕/沉積與SEM成像

• FIB的操作軟件集成在SEM軟件

• 軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數

• 微/納米加工

• 離子束光刻

維修簡單

只需要很短的停機檢修時間，就能使得電鏡長期保持在優化的狀態。每個細節設計得非常仔細，使得儀器的效率化，操作*簡化。

自動程序

自動設置和許多其他的自動化操作是設備的特點。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內置腳本語言 （Python）可進入操作軟件的大多數功能，包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

• 多用戶和多語言操作界面

• 圖像管理與報告生成

• 內置的系統檢查與系統診斷

• 網絡操作與遠程進入/診斷

• 模塊化的軟件結構

• 標準的軟件模塊包括：自動離子束控制、電子束寫入基本版、同時的FIB/SEM成像、預定義FIB工作模式等軟件工具

• 可選軟件包括了：顆粒度分析標準版/專***版、3維表面重建等模塊

• 電子束寫入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強大工具

• 可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時的全自動連續SEM圖像，三維重構與三維可視化

TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統（GM）

分析潛力

• 高亮度肖特基發射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像

• 可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭

• 獨特的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN特有可優化電子束光闌的中間鏡設計

• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進行束斑優化

• 成像速度快

• 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）

• In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析

• 全計算機化優中心電動載臺設計優化了樣品操控

• 完美的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）

• 由于使用了強力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。

• 全自動設置的顯微鏡包括了電子光路設置和合軸功能

• 網絡操作和內置遠程控制/診斷軟件為標配

• 3維電子束技術提供了實時立體圖像

• 在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa，用于觀測不導電樣品

• 獨特的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應非常低

• 聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動高重復性光闌轉換器

• 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒

• 在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和卓越的性能

• FIB切割、信號采集、3維重構（斷層攝影術），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能

LYRA3配置

LYRA3 GMH 
裝有馬達驅動全計算機化優中心樣品臺的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對導電樣品的分析。

LYRA3 GMU
可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。

軟件（標配）：

• 測量

• 圖象處理

• 3維掃描

• 硬度測量

• 多圖像校準

• 對象區域

• 自動關機時間

• 公差

• 編程軟件

• 定位

• 投影面積

• EasySEM^TM

軟件（選配）：

根據實際配置和需求

配件：

• 二次電子探頭

• 背散射電子探頭

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探針電流測量

• 壓差式防碰撞報警裝置

• 可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭

• TOP-SIMS

• 二次離子探頭

等，各種配件可供選擇