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9J光切法顯微鏡以光切法測量和觀察機械制造中零件加工表面的微觀幾何形狀；在不破壞表面的條件下，測出截面輪廓的微觀平面度和溝槽寬度的實際尺寸；此外，還可測量表面上個別位置的加工痕跡和破損。本儀器適用于測量1.0-80um表面粗糙度，但只能對外表面進行測定；如需對內(nèi)表面進行測定，，而又不破壞被測零件時，則可用***塊膠體把被測面模印下來，然后測量模印下來的膠體的表面。

9J光切法顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)
儀器的示值相對誤差（分段計）              5%-24%
攝像裝置放大倍數(shù)                                ≈6×           
測量平面度范圍                         ≈（0.2-25）um
平面寬度
用測微目鏡                        ≈（0.0007-2.5）mm
用坐標工作臺                         ≈（0.01-13）mm
儀器質(zhì)量                                       ≈23kg
儀器外形尺寸（l×b×h）mm               180×290×470

儀器的成套性：