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日立 FT9300系列 X射線熒光鍍層厚度測量儀 

概要：

高速X射線管球的搭載，實現了高精度的測定。而且配合極微小準直器和光學變焦鏡頭可以實現極微小部分的測定。更可以對有高低平面差異的樣品進行測定。

技術參數：

可測量元素：原子序數22(Ti)～83(Bi) 
X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球(Mo靶)
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗 
濾波器：***次濾波器：Mo 二次濾波器：Co (自動切換) 
照射方式：上方垂直照射方式

檢測器：比例計數管 
準直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圓形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

安全性能：樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能

樣品圖像對焦方式：激光自動對焦

樣品觀察：彩色CCD攝像頭 倍率光學器 鹵素燈照明 
樣品平臺大小及承重：FT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg
FT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg
FT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg

重量：FT9300/SFT9350:125kg (不含電腦)
FT9355:130kg(不含電腦) 
修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正 
測量報告書制作：配備MS-EXCEL MS-WORD(使用宏支持自動制作測量報告書)測量能譜與樣品圖像保存功能

特點：

1. 75W高功率X射線管 
　能夠提高X射線的生產效率，實現高精度的測量，有效縮短測量時間，只需過去的1/4

2. 超微小型準直器 
　除了搭載了標準配置的50μm準直器，還配備了測量微小部位用的15μm準直器 
　對應所選擇準直器的實際X射線光束照射的尺寸，可以顯示在樣品畫面上

3. 倍率式光學系 
可以準確地對微小部分進行對焦，還可以對應各測量點間有高低的樣品

4. 實現了高精度自動X-Y-Z樣品臺與圖像處理軟件的高速自動測量

5. 擁有防沖功能

6. 搭載高精度樣品平臺，更可測量大型線路板(FT9355)

7. 自動對焦功能 
配備激光自動對焦功能，能夠準確對焦，提高測量效率。

8. 即時生成測量報告的便捷性 
運用搭載的Microsoft Word Excel 可以簡單輕松得到制作報告。

9. 搭載了高功率X射線管

10. 擁有自動測量軟件以及中心搜索軟件

11. 搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件，可實現高精度幾高效率的微小樣品檢測***小樣品尺寸直徑3.5um

2.容易決定微小測量部位

3.影像對焦系統

4.凹凸樣品的凹下部位的測量

5.再現性佳