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?強大的缺陷檢查能力
?采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)，特別增強了明視場、暗視場的性能，從而提高了辨別和確認缺陷的能力
?明視場圖像的色溫*佳化，實現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場圖像的亮度約提高了四倍
?物鏡選擇和觀察方法切換連動，自動地調(diào)節(jié)亮度光圈
?提高了觀察速度并減輕疲勞
?MX61A裝載了在對焦精度、對焦速度上性能優(yōu)越的動態(tài)AF
?新開發(fā)的多點方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對焦時的穩(wěn)定性
?在可視、深紫外線的反射光觀察中，實現(xiàn)了追蹤觀察位置的實時對焦
?在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合
?可以在***臺顯微鏡上進行明視場、暗視場、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察
?觀察方法的切換非常簡單，只要從明視場、暗視場、選件鏡子單元三個位置選擇*可以
?顯微鏡控制軟件作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進行控制
?采用了新型馬達，實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換
?采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架
?即便是高倍率觀察，也不會出現(xiàn)影像模糊的情況
?只要選擇觀察方法，*能得到基于登錄條件的*合適的觀察影像
?新型搬送手臂的采用，實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求
?備有對應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動載物臺
?通過PC控制，可以實現(xiàn)高***檢查、不良分析功能

?MX61A是*專門設(shè)計的半導(dǎo)體顯微鏡，可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢進行操作
?有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測，保證了工作的效率和產(chǎn)品***體化
?始終提供*佳觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
?提供擴展性的解決方案
?實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化
?幫助實現(xiàn)多種觀察的附件
?自動調(diào)節(jié)*佳亮度
?對應(yīng)各種設(shè)備的實時AF
?對應(yīng)多種觀察方法
?軟件進***步拓展了MX61A的擴張性，滿足了不斷變化的分析需求
?符合人體工程學(xué)和安全對策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性
?備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉(zhuǎn)換器
?可以觸摸屏操作的手控開關(guān)